光栅尺计算公式?光栅尺的剖析解读度是通过谱线的半角宽度△θ来表征的,△θ=λ/(Nd*cosθ),这当中△θ是半角宽度,指的是衍射斑的角半径,N是光栅总缝数,d是光栅常数,θ是衍射角。其利用26mm x 8mm 的狭缝,采用动态扫描的方式(掩膜版与晶圆片同步运动),已经可以实现26mm x 33mm 的曝光场。当前曝光场扫描完毕后,转移至下一曝光场,直至整个晶圆片曝光完毕。
光栅宽度就是它的几何宽度,等于,光栅常数*总的狭缝数,这个指标影响光栅的分辨能力。光栅宽度等距平行排列于透明承印物上,由于柱面透镜的聚焦功能,形成图像景深光栅公式中的a和b代表狭缝宽度和不透光遮挡宽度。光栅常数d=a+b,a是狭缝宽度,b是缝之间的不透光遮挡宽度,d是狭缝
解:由爱里斑的半角宽度&二1.22丄^1.22x 5000X10 = 30.5x10" D 0.2 ・•・爱里斑半径y = /tan^ - fe = 500X30.5X104、 1.5 mm⏺ 13- 19 解:由最小分辨角公式& = 1.22彳D 八光栅、成像镜和探测器;其中,前置系统接收具有入瞳直径d的前端望远镜出射的平行光,将平行光聚焦到具有一定宽度的狭缝处,光线通过狭缝后,由准直镜再将光线准直成平行光,入射到光栅上;
(2)在该宽度内,有几个光栅衍射主极大?a sin k 解:1 由单缝暗纹公式a 1 5 sin tg x/f sin 1 3 102 rad 6 10 /光栅常数的计算公式是d=kλ/sinθ。光栅常数是光栅两刻线之间的距离,用d表示,是光栅的重要参数。通常所讲的衍射光栅是基于夫琅禾费多缝衍射效应工作的。描述光栅结构与光的入射角和
光栅衍射明纹角宽度计算公式:Δθ≈波长λ/【狭缝总数N*光栅常数d*cos(衍射角θ)】衍射光栅是光栅的一种。它通过有规律的结构,使入射光的振幅或相位(或两者同设光栅的刻痕宽度为a,透明狭缝宽度为b,相邻两缝间的距离d=a+b,称为光栅常数,它是光栅的重要参数之一。如图3-15-1所示,光栅常数为d的光栅,当单色平行光束与光栅法线成角